发表(biǎo)时间: 2021-09-06 11:30:38
作者: 成都开云和朗锐芯科技发展(zhǎn)有限公司
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测控设备领域上我国始终落后与国(guó)外发达(dá)国家,先进设(shè)备都(dōu)需要从国外购(gòu)买,去(qù)年疫(yì)情贸(mào)易(yì)进(jìn)出口的封锁,让国内(nèi)买不到国外先(xiān)进设备(bèi)而无法进行(háng)产(chǎn)品制(zhì)造,也大多人明白将中国制造转变(biàn)为(wéi)中国“智”造(zào)迫在眉睫。而测(cè)控系统作为(wéi)打造国之重器的重要技术(shù)装备,其国产(chǎn)化进程更是(shì)刻不容(róng)缓(huǎn)。
测控设备国产化,不仅(jǐn)可(kě)将用户需求体(tǐ)现在产(chǎn)品(pǐn)上,更多地提高可用性,还能全面提高国(guó)产测控设备(bèi)的核心竞争力,实现弯(wān)道超(chāo)车。
虽前景光(guāng)明,但测控(kòng)设备的国产化(huà)绝非(fēi)易事,其包括系统级的国(guó)产化、OS级的国产化和芯片(piàn)级的国产化(huà)“三步走(zǒu)战略”,涉及(jí)软件、硬件、算法(fǎ)等众多层面,如何在保证(zhèng)系(xì)统功能和可靠性的同时,快速实现国产化、自主可控的测控系统,打造一张张闪(shǎn)亮的中国“智”造名片,成为各国内企业亟待解决的难(nán)题。
纵观半导体(tǐ)的制造流程(chéng),晶圆针测是(shì)非(fēi)常重(chóng)要的一(yī)环。检测(cè)晶圆的响应参数进行特(tè)性分类,需(xū)通过电压输(shū)出激励(lì)待测晶圆(yuán),再由高(gāo)速的模拟量监测给电过(guò)程中的(de)响应特性,同时需要大量DiDo的开关量控制探(tàn)针台位置。
针对上述需求,为该晶圆(yuán)针测环节提供了(le)一款具(jù)有16位(wèi)高分辨率和高达1M的采集速度,并可同(tóng)时输出两路(lù)波(bō)形的高速采集与控制(zhì)卡(PCIE-1816H),另(lìng)外依(yī)据不同的数字控(kòng)制点选配(pèi)了多款控制卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基(jī)于三大(dà)维度,成功(gōng)助力晶圆检测(cè)设备实现国(guó)产化。
在(zài)智能制造的(de)大趋势下,数控机床正向着高精度(dù)、高速度、高生产效率的方向(xiàng)发(fā)展,这对机床的(de)动态特性提(tí)出了更高的要求。此外,通过模态测(cè)试与分析(xī)建立机床的结构动力学模型(xíng),也成为优化(huà)机(jī)床设计与性能、及早发(fā)现潜在问题的有效途径。
对于机床的模态分(fèn)析而言,更是(shì)一项“精细(xì)活”。其主要是使用(yòng)力锤、激振器或者激振台(tái)产生脉冲(chōng)冲击(jī),利用加速(sù)度传感器(qì)在(zài)多(duō)点进行(háng)同步(bù)响应(yīng)信(xìn)号的采集(jí),再用数学分析方法计算(suàn)机械结构的固有振动特性,每一个模(mó)态都(dōu)有特定的固有(yǒu)频率、阻(zǔ)尼(ní)比和模态(tài)振型。这(zhè)套(tào)系统此前(qián)一直由国外公司提供,不仅面临(lín)着市场供(gòng)货不(bú)足(zú)的问题,其高(gāo)昂的(de)价(jià)格也让人望(wàng)而却步(bù)。
除(chú)此(cǐ)之外,国外模态试(shì)验系(xì)统也(yě)面临着技术瓶颈。为保证实验数据(jù)精度(dù)和振型辨识要(yào)求,需要在数控(kòng)机床(chuáng)的主(zhǔ)轴、立柱(zhù)和工作台布置几(jǐ)十个测点,每个测点采用XYZ三向加(jiā)速度传感器,采(cǎi)集通道高达100路以(yǐ)上(shàng)。国(guó)外系统的模态测试系统一般仅有32通道,只(zhī)能采取分(fèn)区测试的(de)方法,不仅非常耗时(shí),而且由于各区域(yù)的测试不是在同一激励下进行的(de),后续分析计算也极为复杂。
针对数控(kòng)机床模(mó)态试验,为客户量(liàng)身打造了一套104通(tōng)道(dào)同步(bù)振动模态测试系统。该系统(tǒng)采用13张(zhāng)PCIE-1803,每(měi)片(piàn)PCIE-1803支持(chí)8路信(xìn)号,共104路(lù),使用内(nèi)部同步总线(xiàn)可实现纳(nà)秒(miǎo)级同步时间,误差(chà)小于(yú)100ns。
此外通过增加主机(jī)系统,可以实现200通道以上的同(tóng)步采集。应(yīng)变片(piàn)信号采(cǎi)集通过2片PCIE-1813 实现(xiàn),系统选用IPC-623BP机箱(xiāng)配合PCE-7B17底板支(zhī)持(chí)15片PCIE板卡。软(ruǎn)件兼备加(jiā)速规传感器(qì)的灵敏度、供电方式、耦合方式(shì)、采(cǎi)样频率(lǜ)等设置,同(tóng)时具有数据采集(jí)、曲线显示和数(shù)据保(bǎo)存的功能,实为打造(zào)系统级国(guó)产化的理想路(lù)径。有效解决了国外模态(tài)测试系统价格高、备(bèi)件不足的弊(bì)端(duān),保证了系统的精度和稳(wěn)定(dìng)性(xìng),在与客户的密切合作与快速服务中,高(gāo)效完成国产(chǎn)化替代的进程
测控(kòng)设(shè)备国产化(huà)“三部曲(qǔ)”,第(dì)一曲“系(xì)统级(jí)国(guó)产化”已完美谢幕。放(fàng)眼未来(lái),国(guó)产化(huà)之路任重道远,仍有诸(zhū)多挑战等待突破(pò),等(děng)待我们探(tàn)索其背后的机遇。下一期“OS级国产化”,我们将带(dài)你揭(jiē)开中国操作系(xì)统国产(chǎn)化(huà)的序(xù)幕,敬请关(guān)注(zhù)!